エレグリップテープ® バックグラインドテープ
・BGテープ
・BGフィルム
・BG用表面保護テープ
・回路面保護テープ
| 品番 |
BGE-122V / BGE-124S |
バックグラインドテープは、ウエハーなどの裏面研削（バックグラインド）時に回路面を外的異物による傷、チッピング・クラック（割れ）、レシデューやパーティクルコンタミネーションなどの汚染から保護するために使用されます。ウエハーの大型・薄型化や高バンプ仕様の開発に伴い、テープに要求される主な点は、①汚染からの保護、②ワークへの追従性、③剥離のしやすさ、が挙げられます。DENKAのエレグリップ BGテープの粘着剤は、これらの要求事項を満たし、さらに非水溶性のため水回りに強く、洗浄する必要がありません。お客様それぞれのニーズを考慮し、お客様に最適なテープを選定いたします。
特徴
・回路面等凹凸ウエハーに対する優れた密着性
・パーティクル発生を抑制
・裏面研削時水回りに抜群の研削精度（TTV)
・優れた易剥離性
・粘着力の経時変化抑制
| 推薦用途 | 品種 | 基材 | 色相 | 総厚(μm) | 粘着剤厚(μm) | 粘着力(N/20mm) | プローブタック(N/20mm2) |
| 標準タイプ | BGE-122V | EVA | LB | 140 | 20 | 1.5 | 1.4 |
| バンプ付きウエハ研削用 | BGE-124S | 160 | 40 | 1.3 | 1.3 | ||
| BGE-164VC | 200 | 2.4 | 2.9 | ||||
| UVタイプ | BGE-194U | 235 | 2.5(0.2) | 4.0(0.05) |
＊( )内はUV照射後粘着力
＊上記数値は代表値であり、保証値ではありません。
＊色相：MW(乳白)、LB(ライトブルー)、T(透明)
＊UV照射条件：積算光量＝150mJ/cm2以上。
＊被着体によってUV照射条件は異なる場合があります。
＊はく離フィルム(セパレータ)の厚さは含まれておりません。
データ等記載内容についていかなる保証をなすものではありません。
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記載内容は、新しい知見により断りなく変更する場合がありますので、ご了承ください。
