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テープエキスパンダー
| 品番 |
TAE-800 |
ウエハーダイシング後のテープ上のチップを均一に拡張し､後工程をより円滑に行う為の装置です。 昇降テーブルがモーター駆動で微調整ができるため、エアシリンダー方式に比べ安定したエキスパンド性があります（上昇速度：下表参照）。
特徴
・ステージの温度調節が可能(室温～１００℃)
・ステージの拡張ストローク調節が可能(１ｍｍ単位で設定可能)
【ボリューム別上昇速度】
| ボリューム | 上昇速度(ｍｍ／sec) |
| 10 | 2.2 |
| 20 | 3.7 |
| 30 | 4.8 |
| 40 | 5.8 |
| 50～ | ボリューム40と同じ |
フレームと拡張リングの対応
| フレームサイズ | 拡張リング(MAX) | |
| 内径 | 外径 | |
| 2－5 (内径165mm) | 150mm | 160mm |
| 2－6 (内径175mm) | 160mm | 170mm |
| 2－6－1(内径194mm) | 180mm | 190mm |
| 2－8－1(内径250mm) | 230mm | 240mm |
仕様
| 品名 | 最大 ウエハサイズ (inch) |
寸法(W×D×H) | 重量(kg) |
| TAE-800 | 8 | 400mm×685mm×350mm | 30 |
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