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Plan-Do-Actionをモットーにお客様から高い支持を得ているVision Semicon社製プラズマ洗浄機。弊社トーヨーアドテックは日本での総代理店として、この度販売を開始致しました！Vision Semicon社独自のマガジン（特許出願中）（※右上写真参照）と前後からプラズマ洗浄アプローチの可能なチャンバー構造で、最大16枚のマガジンを一度に（※右下写真参照）、ほぼ均一に洗浄することができます。お客様のご希望を第一に考え、最適なポンプやマガジンへのカスタマイズも積極的に取り組み、機知に富んだ構造とフレキシブルな対応で、お客様のニーズにお応えします。 是非一度デモ機でその実力をお試し下さい。

特徴

プラズマ洗浄で表面の不純物が取り除かれることによって驚くほどヌレ性が向上します！







　　　　　　　　　　 　洗浄前　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　洗浄後

【Colors help your efficiency!】
通常の納入は右上チャンバー内の写真のような地色ですが、オプションで色付けも可能。
こんなところにもVision Semicon社の柔軟性が発揮されていると思いませんか？
作業に合わせて使い分けたり、作業自体が少し楽しくなったり、目的は様々です。

Vision Semicon社製品導入先実績
Amkor Technology (Korea, Philippine, and China)/ Hynix/ Fairchild
LG Innoteck/ ASE Korea/ 三星テクウィン/ HANA Micro/ NXP Semiconductor　など

仕様【VSP-88H】

項目	内容
RFジェネレーター	13.56MHz, 600W 【オプション:1000W】
真空ポンプ	オイルロータリーポンプ（1500L/min.）ブースターポンプも搭載（300㎥/h）
ガス流量制御	1マスフローコントローラー 【オプション:Ｏ2またはその他のガス用マスフローコントローラーの増設】
寸法	(W)1200×(D)1000×(H)1850mm
チャンバー寸法	(W)580×(D)580×(H)530mm
重量	600kg
モータ	3相、AC220V、25A
積載量	8-16マガジン（ワーク・方法による。）
主制御PC	Windows XP & C++ 言語、TFT LCDタッチスクリーン

Vision Semicon社製その他取り扱い装置（詳しくはお問い合わせ下さい）

それぞれのアイコンをクリックするとカタログがご覧いただけます。【pdf形式・英語版のみ】

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