VSP-88L

【誕生秘話】
製品の大容量・小型化が進む中、歩留り向上と製造コスト低減を目指し、ウエハーは大型化されてきました。しかし、これまで研究・開発に使用されてきた卓上型プラズマ洗浄機は12インチに対応出来ず、生産時と同じ条件での検証が困難でした。こうしたお客様からのニーズを集約し、小型でありながら12インチまで対応可能な卓上型プラズマ洗浄機を実現しました。



【VSP-88Lとは】
前工程や後工程でワークのパターンの鮮明度の低下やピンホールといった不具合が起こることがあります。原因は、水や溶剤等の湿式洗浄では除去しきれない油脂や溶剤の残りといった目に見えない有機性汚れがワークに付着、インクや接着剤とワークとの密着が妨げられる事が考えられます。プラズマ洗浄は、有機性汚れを1nm以下の単分子層になるまで洗浄する事により、ワークの清浄度を高める事で表面の濡れ性を向上させ、インクや接着剤の載りを良くする事でワークの不具合を少なくします。

本製品は、コンパクト設計にも関わらず大容量チャンバーを採用しておりますので、12インチウエハーまで対応する事が可能です。更に独自のノウハウによる電極設計により、ウエハーや基板等の各種ワークの洗浄まで実現させました。

【製品の特徴】
　・12インチウエハーまで対応を可能にしながらも、研究・開発に最適な小型化を実現。
　・プラズマ電極を交換する事により、枚葉単位のウエハーやマガジン搭載された各種基板に
　　対応が可能。
　・独自のプラズマ電極で、均一な洗浄が可能。
　・操作性・安全性を重視し、タッチパネルを採用。

【おわりに】
研究・開発に適した卓上型は各社で展開されておりますが、搭載チャンバーが小さく対応可能なワーク寸法に制限がありました。弊社の卓上型プラズマ洗浄機は、12インチウエハーにも対応可能なチャンバーを搭載しており、幅広い研究・開発にご活用戴けると期待しております。